復(fù)旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗收

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院從載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司采購了兩臺RTP-100快速退火爐，一臺用于快速退火氧化工藝(RTO)，一臺用于快速退火還原工藝。兩臺快速退火爐均為德國UniTemp公司生產(chǎn)，放置在復(fù)旦大學(xué)張江校區(qū)，本月均通過了學(xué)校組織的驗收，正式投入科研工作。

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原子層沉積系統(tǒng)的主要功能有哪些呢？

原子層沉積系統(tǒng)在使用之前我們需要了解的知識點(diǎn)也有很多。原子層沉積系統(tǒng)是一種用于化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗儀器。原子層沉積系統(tǒng)具有熱ALD沉積氧化物、氮化物、貴金屬等薄膜材料的一些功能。

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購買原子層沉積系統(tǒng)時需要注意的幾個問題？

關(guān)于原子層沉積系統(tǒng)的一些基本信息相信大家也比較清楚，畢竟我們之前也做了詳細(xì)的了解。用戶們在購買原子層沉積系統(tǒng)的時候需要注意的事情也是比較多的，對于這些知識點(diǎn)可能大部分人還不是很清楚吧，為了避免大家買到劣質(zhì)產(chǎn)品，下面我們來說一下有哪些地方是需要我們注意的，如果你也感興趣的話可以一起來看看的。

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原子層沉積系統(tǒng)的特點(diǎn)有哪些？

原子層沉積系統(tǒng)是在加熱的襯底上連續(xù)引入至少兩個蒸汽前驅(qū)體源，當(dāng)表面飽和時，化學(xué)吸附自動終止。合適的工藝溫度會阻礙分子在表面的物理吸附。基本的原子層沉積周期包括四個步驟:脈沖a、清洗a、脈沖b和清洗b，重復(fù)沉積周期，直到獲得所需的膜厚，這是制造納米結(jié)構(gòu)以形成納米器件的工具。

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光刻機(jī)未來的發(fā)展趨勢

光刻機(jī)生產(chǎn)廠家要做到未雨綢繆，在生產(chǎn)線有關(guān)和街道前提下，還要對下一代光合技術(shù)進(jìn)行研究，現(xiàn)在大規(guī)模的集成電路生產(chǎn)主流，光合技術(shù)仍然是光系列光刻技術(shù)單隨著它的高速發(fā)展季末時光刻技術(shù)的出現(xiàn)，會使光學(xué)光刻技術(shù)延伸到45微米甚至更小的節(jié)點(diǎn)以內(nèi)，根據(jù)科學(xué)人員的預(yù)測，下一代光刻技術(shù)的主要候選者，應(yīng)該是機(jī)子外光刻技術(shù)和納米壓印技術(shù)，以及無掩膜的光刻技術(shù)。

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光刻機(jī)是什么？

光刻機(jī)又名掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機(jī)是掩膜對準(zhǔn)光刻。簡單地說，光刻機(jī)是制造芯片不可缺少的工具，沒有光刻機(jī)，就沒有芯片。

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